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常見曝光機舉例
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發(fā)布時間：2016-11-15 10:05:14
紫外燈電源系統(tǒng)
操作控制器
350W紫外燈
MDA-400M參數(shù)：
晶片臺
基底尺寸 標準尺寸 最大至4英寸；可選最大至6英寸；
托盤 標準尺寸 最大至4英寸；可選最大至6英寸；
活動范圍
X：10mm Y： 10mm Z ： 10mm Theta： 4 degree
對準精度 1um
擠入補償 Air bearing型
Z軸滑動 手動
真空泵 無油真空泵
掩膜臺
掩膜夾具類型 真空吸附和機械夾取
紫外光源
紫外燈 350 瓦
均勻光束大小 4.25“ X 4.25“
曝光模式 壓縮/真空/相鄰
曝光時間控制 可編程控制型
曝光定時器 1 ~ 999.9 秒
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